Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구
'신예지'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 |
주제별 연구자 총논문수 |
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균) |
20 |
4 |
|
연구자 점유율
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 연구자논문수 |
주제별 연구자점유율 |
주제어 |
dry development
|
1
|
1
|
|
plasma etch
|
3
|
1
|
|
directed self-assembly
|
4
|
1
|
|
block copolymers
|
12
|
1
|
|
계 |
|
20 |
4 |
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* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
|
0 |
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