Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
'J. Kim(김준모)'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 |
주제별 연구자 총논문수 |
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균) |
325 |
5 |
|
연구자 점유율
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 연구자논문수 |
주제별 연구자점유율 |
주제어 |
Deposition temperature
|
5
|
1
|
|
Aluminum oxide
|
16
|
1
|
|
Tensile test
|
48
|
1
|
|
Atomic layer deposition
|
68
|
1
|
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mechanical property
|
188
|
1
|
|
계 |
|
325 |
5 |
|
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
|
0 |
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