연구동향 분석

에어로졸 데포지션으로 제조된 4H-SiC 위 Al₂O₃ 게이트 산화막의 후열처리 공정에 따른 전기적 특성

김홍기(Hong-Ki Kim) 김성준(Seong-jun Kim) 강민재(Min-Jae Kang) 조명연(Myung-Yeon Cho) 오종민(Jong-Min Oh) 구상모(Sang-Mo Koo) 이남석(Nam-suk Lee) 신훈규(Hoon-Kyu Shin) 2018년

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