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- 저자 최영재(Young Jae Choi) 송기형(Ki Hyeong Song) 이석우(Seok Woo Lee) 최헌종(Hon Zong Choi)
- 제어번호 99914944
- 학술지명 한국정밀공학회지
- 권호사항 Vol. 31 No. 3 [ 2014 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 181-187 ( 7쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 555
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 DiamondTool(다이아몬드공구) Diffractiveopticalelement(회절광학소자) MicroMachining(미세가공) Micropattern(미세패턴)