PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교
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PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제 |
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동일주제 총논문수 |
논문피인용 총횟수 |
주제별 논문영향력의 평균 |
66
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0
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주제별 논문영향력
논문영향력
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 피인용횟수 |
주제별 논문영향력 |
주제어 |
pecvd
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60
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0
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무선주파수
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1
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0
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실리콘질화막
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1
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0
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패시베이션
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4
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0
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계 |
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66
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0
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* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수 |
0
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