PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교
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PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
| 주제 |
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| 동일주제 총논문수 |
논문피인용 총횟수 |
주제별 논문영향력의 평균 |
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66
|
0
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주제별 논문영향력
논문영향력
| 주제 |
주제별 논문수 |
주제별 피인용횟수 |
주제별 논문영향력 |
| 주제어 |
pecvd
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60
|
0
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무선주파수
|
1
|
0
|
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실리콘질화막
|
1
|
0
|
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패시베이션
|
4
|
0
|
|
| 계 |
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66
|
0
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| * 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수 |
0
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