연구동향 분석

초음파 진동과 레이저 후면 에칭을 통한 유리 구멍 가공

김혜미(Hye Mi Kim) 박민수(Min Soo Park) 2014년

논문상세정보
인용/피인용
' 초음파 진동과 레이저 후면 에칭을 통한 유리 구멍 가공' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 정밀기계
  • glassdrilling(유리구멍가공)
  • laserbeammachining(레이저빔가공)
  • libwe(레이저습식후면식각기법)
  • ultrasonic vibration(초음파 진동)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
308 1

0.0%

' 초음파 진동과 레이저 후면 에칭을 통한 유리 구멍 가공' 의 참고문헌

  • 화학적 초음파가공을 이용한 유리의 미세가공
    전성건 대한기계학회논문집 A 27 (12) : 2085 ~ 2091 [2003]
  • Rapid Prototyping of Silica Glass Microstructures by the LIBWE Method : Fabrication of Deep Microtrenches
    Kawaguchi, Y. Journal of Photochemistry and Photobiology A : Chemistry 182 (3) : 319 ~ 324 [2006]
  • Micromachining of Glasses using an Ultrashort Pulse Laser
    Choi, J. Y. Proc. of KSPE Autumn Conference : 151 ~ 152 [2011]
  • Hole Fabrication for Glass using Ultrasonic Machining
    Liu, J. W. Proc. of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Autumn Conference [2012]
  • Geometric Improvement of Glass Microstructuring using Electrochemical Discharge Machining Process
    Han, M. S. Proc. of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Autumn Conference : 65 ~ 69 [2009]
  • Flexible 3D Deep Microstructures of Silica Glass by Laser-Induced Backside Wet Etching
    Sato, T. Applied Physics A 101 (2) : 319 ~ 323 [2010]
  • Backside Etching of Fused Silica with Nd:YAG Laser
    Zimmer, K. Applied Surface Science 253 (5) : 2796 ~ 2800 [2006]
  • Analysis of Laser Micromachining in Silica Glass with an Absorbent Slurry
    Mitxuishi, M. Annals of the CIRP 57 (1) : 217 ~ 222 [2008]
  • Analysis of Glass Micromachining by Laser-induced Backside Wet Etching
    Lee, T. H. Proc. of The Korean Society of Mechanical Engineers Spring Conference : 290 ~ 291 [2009]