플라즈마 화학증착법에 의한 TiN 박막 밀착력에 Ti 중간층이 미치는 영향

논문상세정보
    • 저자 김선효 우치구 이상로
    • 제어번호 3233118
    • 학술지명 대한금속·재료학회지
    • 권호사항 Vol. 30 No. 12 [ 1992 ]
    • 발행처 대한금속재료학회(대한금속학회)
    • 발행처 URL http://www.kim.or.kr
    • 자료유형 학술저널
    • 수록면 1438-1447 ( 10쪽)
    • 언어 Korean
    • 출판년도 1992
    • KDC 436
    • 등재정보 KCI등재
    • 소장기관 고려대학교 도서관 서울대학교 중앙도서관 영남대학교 과학도서관 중앙대학교 서울캠퍼스 중앙도서관 중앙대학교 서울캠퍼스 중앙도서관 중앙대학교 서울캠퍼스 중앙도서관
    • 판매처 한국학술정보
' 플라즈마 화학증착법에 의한 TiN 박막 밀착력에 Ti 중간층이 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 금속원소와 그 화합물
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
20 1

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