Ti buffer layer를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구
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저자
金廣碩
李商律
韓銓建
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제어번호
19618182
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학술지명
대한금속·재료학회지
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권호사항
Vol.
40
No.
6
[
2002
]
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발행처
대한금속재료학회
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발행처 URL
http://www.kim.or.kr
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자료유형
학술저널
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수록면
655-660
(
6쪽)
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언어
Korean
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출판년도
2002
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KDC
436
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등재정보
KCI등재
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소장기관
영남대학교 과학도서관
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판매처
한국학술정보
'
Ti buffer layer를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제 |
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동일주제 총논문수 |
논문피인용 총횟수 |
주제별 논문영향력의 평균 |
20
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1
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주제별 논문영향력
논문영향력
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 피인용횟수 |
주제별 논문영향력 |
주제분류(KDC/DDC) |
금속원소와 그 화합물
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20
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0
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계 |
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20
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0
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* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수 |
1
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