논문상세정보
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- 저자 조현희 이서현 윤은서 서지은 이진우 한동훈 남서아 한정환
- 제어번호 108498499
- 학술지명 한국분말재료학회지 (KPMI)
- 권호사항 Vol. 30 No. 1 [ 2023 ]
- 발행처 한국분말재료학회
- 발행처 URL http://kpmi.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 53-64 ( 12쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2023
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Atomic Layer Etching Nitride Oxide Metal Reaction mechanism
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