논문상세정보
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- 저자 장예진 정재필
- 제어번호 108432868
- 학술지명 마이크로전자 및 패키징학회지
- 권호사항 Vol. 29 No. 4 [ 2022 ]
- 발행처 한국마이크로전자및패키징학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1-8 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2022
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Scallop-free Three dimensional packaging Through-Si-Via (TSV) Cubonding