실리콘 기판 슬러지로부터 고순도 탄화규소 분말 합성

권한중 김민희 윤지환 2022년

논문상세정보

인용/피인용

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	Silicon carburization high-energymilling silicon carbide sludge 고에너지 밀링 슬러지 실리콘 탄화 반응 탄화규소
323	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 논문영향력
주제어	Silicon	73	0.0%
	carburization	3	0.0%
	high-energymilling	7	0.0%
	silicon carbide	81	0.0%
	sludge	58	0.0%
	고에너지 밀링	1	0.0%
	슬러지	31	0.0%
	실리콘	53	0.0%
	탄화 반응	1	0.0%
	탄화규소	15	0.0%
계		323	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수

실리콘 웨이퍼 切斷工程에서 發生하는 실리콘 카바이드 슬러지로부터 鐵, 실리콘 除去
박회경 [2013]
Silicone Market
Marketsandmarkets
Silicone Industry
Mirae Asset
Recycling of slurry formed during production of semiconductor wafer
Korea Technology Finance Corporation [2008]
RIR-Measurement and Use in Quantitative XRD
Camden R. H. [1988]
Development of advanced process for silicon recovery from silicon sludge and application to valuable materials
Korea Institute of Geoscience & Mineral resources [2016]
Carbide, Nitride and Boride Materials Synthesis and Processing
Philip J. G. [1997]