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Effect of thickness on moisture barrier properties of aluminum oxide using ozone-based atomic layer deposition

Juhyun Lee Seokyoon Shin Sejin Kwon Woochool Jang Hyeongsu Choi Hyunwoo Park Namgue Lee 전형탁 년

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논문상세정보

- 저자 Juhyun Lee Seokyoon Shin Sejin Kwon Woochool Jang Hyeongsu Choi Hyunwoo Park Namgue Lee 전형탁
- 제어번호 108098919
- 학술지명 Journal of Ceramic Processing Research
- 권호사항 Vol. 22 No. 3 [ 2021 ]
- 발행처 한양대학교 세라믹연구소
- 자료유형 학술저널
- 수록면 253-257
- 언어 English
- 출판년도 2021
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 참고문헌( 30)
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