포켓의 깊이가 공기 베어링 스테이지의 햄머링 현상에 미치는 영향

논문상세정보
' 포켓의 깊이가 공기 베어링 스테이지의 햄머링 현상에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • air bearing stage (공기베어링 스테이지)
  • clearance(틈새)
  • hammering(햄머링)
  • pocket depth(포켓 깊이)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
7 0

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