논문상세정보
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- 저자 배일진(Il Jin Bae)
- 제어번호 107618602
- 학술지명 한국정밀공학회지
- 권호사항 Vol. 38 No. 6 [ 2021 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 405-415 ( 11쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2021
- KDC 555
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 호서대학교(아산) 학술지원과
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Chemical liquid (약액) Constant pressure valve (정압 밸브) Flow control system (유량 제어시스템) Semiconductor manufacturing process (반도체 제조공정)
유사주제 논문( 0)
