논문상세정보
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- 저자 김우재 신기원 권희태 온범수 박연수 김지환 방인영 권기청 Kim, Woo Jae Shin, Gi Won Kwon, Hee Tae On, Bum Soo Park, Yeon Su Kim, Ji Hwan Bang, In Young Kwon, Gi-Chung
- 제어번호 107381148
- 학술지명 반도체디스플레이기술학회지
- 권호사항 Vol. 20 No. 1 [ 2021 ]
- 발행처 한국반도체디스플레이기술학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 32-36 ( 5쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2021
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Semiconductor Warpage measurement
유사주제 논문( 439)
인용/피인용
