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- 저자 이동섭(Dong Sub Lee) 김진희(Jin Hee Kim)
- 제어번호 107312935
- 학술지명 대한환경공학회지
- 권호사항 Vol. 43 No. 2 [ 2021 ]
- 발행처 대한환경공학회
- 발행처 URL http://www.kosenv.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 110-116 ( 7쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2021
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Peltier Thermoelectric Element AbsoluteHumidity CoolingCapacity Scrubber SemiconductorManufacturingProcess 냉각용량 반도체 제조공정 스크러버 절대습도 펠티어 열전소자