유해가스 처리 효율 향상을 위한 스크러버용 소형 냉각모듈 개발에 대한 연구

논문상세정보
' 유해가스 처리 효율 향상을 위한 스크러버용 소형 냉각모듈 개발에 대한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Peltier Thermoelectric Element
  • absolutehumidity
  • coolingcapacity
  • scrubber
  • semiconductormanufacturingprocess
  • 냉각용량
  • 반도체 제조공정
  • 스크러버
  • 절대습도
  • 펠티어 열전소자
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
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