논문상세정보
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- 저자 박찬일 Park, Chan Il
- 제어번호 107308343
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 34 No. 1 [ 2021 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 39-43
- 언어 Korean
- 출판년도 2021
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 남서울대학교 성암기념중앙도서관
- 판매처
- 주제어 Crystallinity Dual magnetron sputtering Resistivity Surface roughness Hardness ZnO:Al
