논문상세정보
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- 저자 Yena Kwon Byeong-Seon An Yeon Ju Shin 양철웅
- 제어번호 107228521
- 학술지명 Applied microscopy
- 권호사항 Vol. 50 No. 1 [ 2020 ]
- 발행처 한국현미경학회
- 발행처 URL http://www.ksem.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1-6
- 언어 English
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Focused ion beam Ex-situ lift-out system Ga residue MEMS-based chip Ar+ ion milling
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