유한요소해석을 이용한 알루미나 정전척의 글라스 기판 흡착 특성 연구

이재영 장경민 민동균 강재규 성기현 김혜동 Lee, Jae Young Jang, Kyung Min Min, Dong Kyun Kang, Jae Gyu Sung, Gi Hyun Kim, Hye Dong 2020년

논문상세정보

인용/피인용

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 Coulomb Type Electrostatic Chuck Electrostatic Force finite-elementanalysis maxwellstresstensor
547	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	332	0.0%
주제어	Coulomb Type	1	0.0%
	Electrostatic Chuck	1	0.0%
	Electrostatic Force	3	0.0%
	finite-elementanalysis	208	0.0%
	maxwellstresstensor	3	0.0%
계		548	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수