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Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films

S. Lee(이상민) J. Koo(구준모) J. Kim(김준모) J. H. Shim(심준형) T.-S. Kim(김택수) 2019년

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논문상세정보

- 저자 S. Lee(이상민) J. Koo(구준모) J. Kim(김준모) J. H. Shim(심준형) T.-S. Kim(김택수)
- 제어번호 107169759
- 학술지명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2019 No. 5월 [ 2019 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 138-138 ( 1쪽)
- 언어 English
- 출판년도 2019
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Aluminum oxide Atomic layer deposition Deposition temperature Tensile test Mechanical property
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 320)

인용/피인용

Effect of Deposition Temperature on Mechanical P ...

' Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	Aluminum oxide Atomic layer deposition Deposition temperature Tensile test mechanical property
325	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	Aluminum oxide	16	0	0.0%
	Atomic layer deposition	68	0	0.0%
	Deposition temperature	5	0	0.0%
	Tensile test	48	0	0.0%
	mechanical property	188	0	0.0%
계		325	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0