논문상세정보
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- 저자 조용재(Y. J. Cho)
- 제어번호 107169204
- 학술지명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2019 No. 5월 [ 2019 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 770-770 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Optical properties Refractive index Spectroscopic ellipsometers Filmthickness Nanothinfilm
인용/피인용
