논문상세정보
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- 저자 Jinuk Choi Seonho Jeong Kyeongwoo Jeong Haedo Jeong
- 제어번호 107153685
- 학술지명 한국정밀공학회지
- 권호사항 Vol. 37 No. 12 [ 2020 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 873-880 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- KDC 555
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Chemical mechanical planarization (화학기계적 평탄화) Highest friction heat point (최고 마찰 지점) Pad temperature control (패드 온도 제어) Temperature modeling (온도 모델링)
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