논문상세정보
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- 저자 안다훈 이학준
- 제어번호 107141956
- 학술지명 한국산학기술학회논문지
- 권호사항 Vol. 21 No. 11 [ 2020 ]
- 발행처 한국산학기술학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 554-560
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 남서울대학교 성암기념중앙도서관 숭실대학교 중앙도서관
- 판매처
- 주제어 Air Bearing Stage Gantry Control Mutual Ripple Yaw Motion Compensation Flexure
