논문상세정보
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- 저자 주정훈
- 제어번호 107128800
- 학술지명 한국진공학회 학술발표회초록집
- 권호사항 Vol. 2020 No. 8 [ 2020 ]
- 발행처 한국진공학회
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 13-13 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- KDC 420
- 판매처 누리미디어
- 주제어 CFD-ACE+ plasma chemistry simulation Dry etcher partial pressure measurement
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