논문상세정보
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- 저자 김교운 오지수 김희주 홍종우 염근영
- 제어번호 107128733
- 학술지명 한국진공학회 학술발표회초록집
- 권호사항 Vol. 2020 No. 8 [ 2020 ]
- 발행처 한국진공학회
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 93-93 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- KDC 420
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Etch Lithography Plasma
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