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표면 가공형 캐비티 압력센서를 이용하여 비전도성 물질용 패키지 기술에 전기적 제어방식 연구

이선종 우종창 Lee, Sun-Jong Woo, Jong-Chang 2020년

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논문상세정보

- 저자 이선종 우종창 Lee, Sun-Jong Woo, Jong-Chang
- 제어번호 107036878
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 33 No. 5 [ 2020 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 350-354
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 남서울대학교 성암기념중앙도서관
- 판매처
- 주제어 Piezoresistive Pressure Sensor MEMS Packaging
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 5,182)

인용/피인용

표면 가공형 캐비티 압력센서를 이용하여 비전도성 물 ...

' 표면 가공형 캐비티 압력센서를 이용하여 비전도성 물질용 패키지 기술에 전기적 제어방식 연구' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 Piezoresistive Pressure Sensor mems packaging
5,188	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	4,649	0	0.0%
주제어	Piezoresistive	6	0	0.0%
	Pressure	81	0	0.0%
	Sensor	269	0	0.0%
	mems	109	0	0.0%
	packaging	74	0	0.0%
계		5,188	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0