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블록공중합체와 비정질 탄소층을 이용한 초미세 패턴 식각에 관한 연구

김교운 오지수 염근영 2019년

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논문상세정보

- 저자 김교운 오지수 염근영
- 제어번호 107000533
- 학술지명 한국표면공학회 학술발표회 초록집
- 권호사항 Vol. 2019 No. 5 [ 2019 ]
- 발행처 한국표면공학회
- 발행처 URL http://www.kisehome.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 95-95 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- 판매처 누리미디어
- 참고문헌( 0)
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인용/피인용

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