논문상세정보
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- 저자 Ji Young Shin Won Ja Min Hyo Sik Chang Kyung Joong Kim
- 제어번호 106907587
- 학술지명 Applied Science and Convergence Technology
- 권호사항 Vol. 29 No. 3 [ 2020 ]
- 발행처 한국진공학회(ASCT)
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 50-54 ( 5쪽)
- 언어 English
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Medium energy ion scattering spectroscopy Mutual calibration method Thickness measurement Transmission electron microscopy TiO₂ X-ray photoelectron spectroscopy
