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Design of an ultra-precision positioning XY stage with dual side flexure hinge structure for decoupled motion and high first resonance frequency

HyunPyo Shin(신현표) Hyungjin Jeong(정형진) Donghun Lee(이동훈) 2019년

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논문상세정보

- 저자 HyunPyo Shin(신현표) Hyungjin Jeong(정형진) Donghun Lee(이동훈)
- 제어번호 106865125
- 학술지명 대한기계학회 춘추학술대회
- 권호사항 Vol. 2019 No. 11 [ 2019 ]
- 발행처 대한기계학회
- 발행처 URL http://www.ksme.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 2128-2128 ( 1쪽)
- 언어 English
- 출판년도 2019
- KDC 550
- 판매처 누리미디어
- 주제어 1차 공진 주파수(First resonance frequency) 디커플 모션(Decoupled motion) 원자력 현미경(Atomic force microscope) 이중 힌지 구조(Dual-side flexure hinge structure) 초정밀 위치제어(Precision positioning) 플렉셔 힌지(Flexure hinge)
- 참고문헌( 0)
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인용/피인용

Design of an ultra-precision positioning XY stag ...

' Design of an ultra-precision positioning XY stage with dual side flexure hinge structure for decoupled motion and high first resonance frequency' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	1차 공진 주파수(First resonance frequency) 디커플 모션(Decoupled motion) 원자력 현미경(Atomic force microscope) 이중 힌지 구조(Dual-side flexure hinge structure) 초정밀 위치제어(Precision positioning) 플렉셔 힌지(Flexure hinge)
6	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	1차 공진 주파수(First resonan ...	1	0	0.0%
	디커플 모션(Decoupled motion)	1	0	0.0%
	원자력 현미경(Atomic force mi ...	1	0	0.0%
	이중 힌지 구조(Dual-side flex ...	1	0	0.0%
	초정밀 위치제어(Precision pos ...	1	0	0.0%
	플렉셔 힌지(Flexure hinge)	1	0	0.0%
계		6	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0