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Study on efficiency improvement of multi-crystalline silicon solar cell by removing by-product and plasma induced damage generated during reactive ion etching

박진성 김무중 민관홍 박성근 송희은 이정인 정경태 강민규 2020년

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논문상세정보

- 저자 박진성 김무중 민관홍 박성근 송희은 이정인 정경태 강민규
- 제어번호 106838594
- 학술지명 Current Applied Physics
- 권호사항 Vol. 20 No. 4 [ 2020 ]
- 발행처 한국물리학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 519-524
- 언어 English
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 참고문헌( 0)
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인용/피인용

Study on efficiency improvement of multi-crystalli ...