스퍼터링 공정 압력이 InZnO 박막트랜지스터의 광학 및 전기적 특성에 미치는 영향

논문상세정보
' 스퍼터링 공정 압력이 InZnO 박막트랜지스터의 광학 및 전기적 특성에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 기술과 연합작용
  • amorphous oxide semiconductor
  • high mobility
  • inzno
  • magnetron sputtering
  • thin film transistors
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
769 0

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