논문상세정보
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- 저자 손정일 김광수 Son, Jeongil Kim, Gwangsoo
- 제어번호 106827605
- 학술지명 한국재료학회지
- 권호사항 Vol. 30 No. 4 [ 2020 ]
- 발행처 한국재료학회
- 발행처 URL http://www.mrs-k.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 169-175
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 경북대학교 중앙도서관 남서울대학교 성암기념중앙도서관 서울대학교 중앙도서관
- 판매처
- 주제어 nano-indentation RF magnetron sputtering silicon nitride thin film transmittance
