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에어로졸 증착 공정을 통해 제작한 Al₂O₃ 코팅층의 Al₂O₃ 입자 크기에 따른 성막 메커니즘 연구

김익수 조명연 구상모 이동원 오종민 Kim, Ik-Soo Cho, Myung-Yeon Koo, Sang-Mo Lee, Dong-Won Oh, Jong-Min 2020년

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논문상세정보

- 저자 김익수 조명연 구상모 이동원 오종민 Kim, Ik-Soo Cho, Myung-Yeon Koo, Sang-Mo Lee, Dong-Won Oh, Jong-Min
- 제어번호 106827133
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 33 No. 3 [ 2020 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 219-224
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 남서울대학교 성암기념중앙도서관
- 판매처
- 주제어 Aerosol-deposition Dense $Al_2O_3$ coating Deposition mechanism Different particle size Hammering effect Internal strain Porous $Al_2O_3$ coating
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 4,656)
- 응용 물리 4,648건
- Aerosol-deposition 8건

인용/피인용

에어로졸 증착 공정을 통해 제작한 Al₂O ...

' 에어로졸 증착 공정을 통해 제작한 Al₂O₃ 코팅층의 Al₂O₃ 입자 크기에 따른 성막 메커니즘 연구' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 Aerosol-deposition Dense $Al_2O_3$ coating Deposition mechanism Different particle size Hammering effect Internal strain Porous $Al_2O_3$ coating
4,664	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	4,649	0	0.0%
주제어	Aerosol-deposition	9	0	0.0%
	Dense $Al_2O_3$ coating	1	0	0.0%
	Deposition mechanism	1	0	0.0%
	Different particle size	1	0	0.0%
	Hammering effect	1	0	0.0%
	Internal strain	1	0	0.0%
	Porous $Al_2O_3$ coating	1	0	0.0%
계		4,664	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0