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인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :
반도체 장비 히터로드 유착 개선에 관한 연구
왕현철
서화일
Wang, Hyun-Chul
Seo, Hwa-Il
2020년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
왕현철
서화일
Wang, Hyun-Chul
Seo, Hwa-Il
제어번호
106825674
학술지명
반도체디스플레이기술학회지
권호사항
Vol. 19 No. 1 [ 2020 ]
발행처
한국반도체디스플레이기술학회
자료유형
학술저널
수록면
67-72
언어
Korean
출판년도
2020
등재정보
KCI등재
판매처
주제어
AlN-Heater
RF Filter
Semiconductor Equipment
PECVD
TRIZ
참고문헌( 0)
유사주제 논문( 555)
응용 물리 331건
triz 162건
pecvd 59건
Semiconductor Equipment 2건
AlN-Heater 1건
인용/피인용
반도체 장비 히터로드 유착 개선에 관한 연구
' 반도체 장비 히터로드 유착 개선에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제
응용 물리
AlN-Heater
RF Filter
Semiconductor Equipment
pecvd
triz
동일주제 총논문수
논문피인용 총횟수
주제별 논문영향력의 평균
561
0
0.0%
자세히
주제별 논문영향력
논문영향력
주제
주제별 논문수
주제별 피인용횟수
주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)
응용 물리
332
0
0.0%
주제어
AlN-Heater
2
0
0.0%
RF Filter
1
0
0.0%
Semiconductor Equipment
3
0
0.0%
pecvd
60
0
0.0%
triz
163
0
0.0%
계
561
0
0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수
0
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