논문상세정보
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- 저자 왕현철 서화일 Wang, Hyun-Chul Seo, Hwa-Il
- 제어번호 106825672
- 학술지명 반도체디스플레이기술학회지
- 권호사항 Vol. 19 No. 1 [ 2020 ]
- 발행처 한국반도체디스플레이기술학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 55-60
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 AlN-Heater RF Loss Semiconductor Deposition rate Filter Impedance PECVD RF SiON
