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대면적 대기압 플라즈마를 사용한 태양전지용 P타입 결정질 실리콘 웨이퍼 내 인 불순물 확산 연구

이태현 박연수 온범수 권희태 신기원 김우재 김지환 양창실 권기청 2020년

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논문상세정보

- 저자 이태현 박연수 온범수 권희태 신기원 김우재 김지환 양창실 권기청
- 제어번호 106622250
- 학술지명 한국진공학회 학술발표회초록집
- 권호사항 Vol. 2020 No. 2 [ 2020 ]
- 발행처 한국진공학회
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 132-132 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2020
- KDC 420
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Atmospheric Pressure Plasma DBD(Dielectric Barrier Discharge) Doping P-type Crystalline silicon Wafer SIMS
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 108)

인용/피인용

대면적 대기압 플라즈마를 사용한 태양전지용 P타입 결 ...

' 대면적 대기압 플라즈마를 사용한 태양전지용 P타입 결정질 실리콘 웨이퍼 내 인 불순물 확산 연구' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	Atmospheric Pressure Plasma DBD(Dielectric Barrier Discharge) Doping P-type Crystalline silicon Wafer sims
113	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	Atmospheric Pressure Plasma	5	0	0.0%
	DBD(Dielectric Barrier D ...	1	0	0.0%
	Doping	94	0	0.0%
	P-type Crystalline silicon W ...	1	0	0.0%
	sims	12	0	0.0%
계		113	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0