플라즈마 환경에서 세라믹 소재의 위치에 따른 챔버벽 재증착에 관한 연구

논문상세정보
' 플라즈마 환경에서 세라믹 소재의 위치에 따른 챔버벽 재증착에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Optical emission spectroscopy
  • Plasma corrosion
  • al2o3
  • atmosphericplasmaspray
  • y2o3
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
67 0

0.0%