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반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 관한 가공법 평가

이은영 김문기 Lee, Eun Young Kim, Moon Ki 2019년

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논문상세정보

- 저자 이은영 김문기 Lee, Eun Young Kim, Moon Ki
- 주제어 Semiconductor Surface roughness Upper electrode Plasma etch Surface morphology
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 655)

인용/피인용

반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 ...

' 반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 관한 가공법 평가' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 Semiconductor Surface roughness Upper electrode plasma etch surface morphology
661	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	332	0	0.0%
주제어	Semiconductor	108	0	0.0%
	Surface roughness	191	0	0.0%
	Upper electrode	1	0	0.0%
	plasma etch	5	0	0.0%
	surface morphology	24	0	0.0%
계		661	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0