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반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 관한 가공법 평가
이은영
김문기
Lee, Eun Young
Kim, Moon Ki
2019년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
이은영
김문기
Lee, Eun Young
Kim, Moon Ki
주제어
Semiconductor
Surface roughness
Upper electrode
Plasma etch
Surface morphology
참고문헌( 0)
유사주제 논문( 655)
응용 물리 331건
Surface roughness 190건
Semiconductor 107건
surface morphology 23건
plasma etch 4건
인용/피인용
반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 ...
' 반도체 플라즈마 에칭 상부 전극의 표면 품질 형성에 관한 가공법 평가' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제
응용 물리
Semiconductor
Surface roughness
Upper electrode
plasma etch
surface morphology
동일주제 총논문수
논문피인용 총횟수
주제별 논문영향력의 평균
661
0
0.0%
자세히
주제별 논문영향력
논문영향력
주제
주제별 논문수
주제별 피인용횟수
주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)
응용 물리
332
0
0.0%
주제어
Semiconductor
108
0
0.0%
Surface roughness
191
0
0.0%
Upper electrode
1
0
0.0%
plasma etch
5
0
0.0%
surface morphology
24
0
0.0%
계
661
0
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* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수
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