연구동향 분석

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향

서준영(Junyoung Seo) 이현섭(Hyunseop Lee) 2019년

논문상세정보
인용/피인용
' 랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • chemical mechanical polishing(화학기계적 연마)
  • lap-grinding(랩그라인딩)
  • sapphire wafer(사파이어 웨이퍼)
  • surface roughness (표면 거칠기)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
15 0

0.0%