연구동향 분석

래핑 정반의 기하학적 인자가 기판의 평탄도에 미치는 영향

이태경(T. Lee) 김도연(D. Kim) 2019년

논문상세정보
인용/피인용
' 래핑 정반의 기하학적 인자가 기판의 평탄도에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Geometric factor
  • Lapping
  • Lapping plate
  • flatness
  • sapphire wafer
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
33 0

0.0%