연구동향 분석

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영(J. Y. Seo) 김태경(T. K. Kim) 손준규(J. G. Son) 이현섭(H. S. Lee) 2019년

논문상세정보
인용/피인용
' 사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Chemical mechanical polishing
  • Lap-Grinding
  • Surface roughness
  • materialremovalrate
  • sapphire wafer
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
225 0

0.0%