논문상세정보
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- 저자 안정언 정재윤
- 제어번호 106515077
- 학술지명 한국빅데이터학회 학회지
- 권호사항 Vol. 4 No. 2 [ 2019 ]
- 발행처 사)한국빅데이터학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 61-71 ( 11쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Machine Learning Process Quality Interpretation Classification CMP Prediction Wafer 공정 품질 해석 머신 러닝 분류 예측 웨이퍼
