반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발

논문상세정보
' 반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Non-CO₂ gas
  • PFCs(erfluorinated Compounds)
  • thermal plasma
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
21 0

0.0%