연구동향 분석

실리콘 산화막과 폴리 실리콘으로 구성된 passivated contact의 열처리 후 산화막 붕괴와 패시베이션 특성 변화에 대한 연구

최성진(Sungjin Choi) 정명상(Myeong Sang Jeong) 민관홍(Kwan Hong Min) 강민구(Min Gu Kang) 박성은(Sungeun Park) 강윤묵(Yoonmook Kang) 이해석(Hae-Seok Lee) 김동환(Donghwan Kim) 송희은(Hee-eun Song) 2019년

논문상세정보
인용/피인용
' 실리콘 산화막과 폴리 실리콘으로 구성된 passivated contact의 열처리 후 산화막 붕괴와 패시베이션 특성 변화에 대한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 산화막 붕괴(Oxide disruption)
  • 실리콘 산화막(SiOx)
  • 전자현미경(Transmission electron microscopy)
  • 패시베이션(Passivation)
  • 폴리 실리콘(Poly-Si)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
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