RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구

논문상세정보
' RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Optical thin film
  • rf magnetron sputtering
  • sio₂
  • tio₂
  • zro₂
  • 광학박막
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
163 0

0.0%