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- 저자 하병호(Byung-Ho Ha) 이주학(Ju-Hak Lee) 장대광(Dae-Kwang Jang) 김영미(Young-Mi Kim) 정예린(Yee-Rin Jung) 김기홍(Ki-Hong Kim)
- 제어번호 106368265
- 학술지명 한국안광학회지
- 권호사항 Vol. 24 No. 3 [ 2019 ]
- 발행처 한국안광학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 279-286 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- KDC 515
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Barrier coating Plasma etching RF magnetron sputtering RF 마그네트론 스퍼터링 Thin film 박막 배리어코팅 플라즈마 에칭