반도체장비내 고온용 온도센서 연결부위의 고장 메커니즘 분석 및 수명향상연구

논문상세정보
' 반도체장비내 고온용 온도센서 연결부위의 고장 메커니즘 분석 및 수명향상연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Finite Element Analysis(유한요소법)
  • Photo lithography Equipment(포토리소그래피 장비)
  • Solder(솔더)
  • temperature sensor(온도 센서)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
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