실리콘 반도체 기판에 제작된 박막 패턴 발열 히터의 열특성 측정

논문상세정보
' 실리콘 반도체 기판에 제작된 박막 패턴 발열 히터의 열특성 측정' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Embedded
  • Semiconductor
  • Sensor
  • Thermal
  • power
  • thin-film
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
873 0

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