연구동향 분석

초정밀 광학측정장비 구현을 위한 Long Range 자동초점장치 및 스테이지 제어

김영광(Y. G. Kim) Nguyen Anh Nu Hoang 김영식(Y. S. Ghim) 이혁교(H. G. Rhee) 2019년

논문상세정보
인용/피인용
' 초정밀 광학측정장비 구현을 위한 Long Range 자동초점장치 및 스테이지 제어' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Direct laser lithographic system
  • Lase writer
  • Optical measurement
  • Stage control
  • autofocusing
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
26 0

0.0%